Radiant薄膜橫向壓電系數(shù)e31測試裝置采用懸臂梁法，結合Radiant Precision系統(tǒng)可精確地確定壓電薄膜系數(shù)e31、d31和e33，重新加載一致性達到2%。

Radiant的懸臂梁法測薄膜橫向壓電系數(shù)e31測試裝置可測量懸臂上沉積的壓電薄膜的系數(shù)。通過向壓電薄膜施加電壓使基材向不同方向彎曲。由配置的光電傳感器捕獲懸臂頂端的運動，該測試模組可容納72mm和43mm懸臂。

Radiant薄膜橫向壓電系數(shù)e31測試裝置和Radiant Precision測試系統(tǒng)可以進行三種類型的測量。

1)確定懸臂梁的針尖位移作關于電壓的函數(shù)

2)可以執(zhí)行的第二種類型的測試是直接d31測量，這是通過懸臂梁施加力記錄壓電電容器的電荷量實現(xiàn)。

3)如果使用叉指電極，則測量e33

準確性

可復制到1%，卸載和重新加載準確度達2%。

可重復性

重新加載相同樣本時沒有差異。

操作簡單

無須復雜調試，操作簡單

多功能

薄膜或散裝、生產(chǎn)或研究。

靈活

薄膜壓電測試束將適應

各種樣本幾何圖形。

薄膜壓電測試模組的測量包括但不限于下列測試：

e31、d31、e33與厚度

位移與電壓

壓電疲勞

壓電老化

成分比較

過程監(jiān)控

多重繪制和平均

薄膜壓電測試套件包括：

l  薄膜壓電測試夾具

特殊設計的薄膜測試夾具

l  壓電位移傳感器

Radiant的壓電光子技術規(guī)格：

測量范圍6mm，精度1微米。

壓電位移傳感器模擬輸出校準為5微米/V（或=0.2V/微米）。

當壓電位移傳感器模擬輸出連接到Radiant Precision測量系統(tǒng)的傳感器端口后，輸出電壓由ADC測量，其分辨率為0.3mV/步。

l  *的壓電軟件

*的壓電軟件對壓電薄膜或壓電MEMS自動執(zhí)行測試并提供清晰的位移結果；

測量軟件可以配置為不同的測量值，只需按一下按鈕即可生成多個繪圖。

可以對測試臺進行多次測量以修正漂移值，然后平均/平滑測量值，以糾正過高和過低頻噪聲。