一、奧林巴斯Olympus半導(dǎo)體顯微鏡MX63/63L應(yīng)用介紹：  

（1）奧林巴斯（OlympusCorporation），創(chuàng)立于1919年。1920年在日本成功地將顯微鏡商品化，在癌癥防治領(lǐng)域起著極其重要作用的內(nèi)窺鏡，1950年由奧林巴斯在世界上*開發(fā)。  

（2）迄今為止，奧林巴斯株式會社已成為日本乃至世界精密、光學(xué)技術(shù)的代表企業(yè)之一，事業(yè)領(lǐng)域包括醫(yī)療、影像、生命科學(xué)產(chǎn)業(yè)三大業(yè)務(wù)領(lǐng)域。  

二、應(yīng)用原理：  

（1）Olympus奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡MX63/63L系統(tǒng)支持檢測尺寸達300毫米的晶圓、平板顯示器、印刷電路板以及其他樣品的質(zhì)量。這些符合人體工學(xué)設(shè)計的人性化系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計，可在各種應(yīng)用中實現(xiàn)Z佳觀察條件。結(jié)合奧林巴斯Stream圖像分析軟件使用時，從觀察到生成報告的整個檢測流程更簡潔直觀。  

（2）Olympus半導(dǎo)體顯微鏡MX63/63L滿足電子行業(yè)需求  

（3）功能性為滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求而設(shè)計的附加功能以增強分析能力  

（4）人性化簡潔的顯微鏡設(shè)置使用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置變得更為輕松。  

（5）*的成像技術(shù)我們成熟可靠的光學(xué)器件和優(yōu)良的成像技術(shù)可獲得清晰圖像，并完成可靠檢測。  

（6）模塊化用戶可通過選擇適合其應(yīng)用的模塊進行系統(tǒng)定制。  

三、*的分析工具：  

（1）奧林巴斯Olympus半導(dǎo)體顯微鏡MX63/63L系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M行可靠的缺陷檢測。  

（2）全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結(jié)  

果提供更多選擇。  

（3）從不可見到可見：MIX觀察與采集  

（4）通過暗場與明場、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得特殊的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，有助于觀察樣品的表面紋理。